微織構固結磨料拋光輪無水拋光熔融石英光學元件技術研究

摘要： 拋光是精密光學元件制造的最后一道冷加工工序，當前采用的游離磨料拋光技術蘊含的不可控因素較多，且會在元件表面產(chǎn)生水合層并存在磨料浪費等問題。為了實現(xiàn)可控綠色拋光并確保光學元件達到所需的表面質量要求，固結磨料無水拋光技術以其獨特的優(yōu)勢開始得到推廣。然而，固結磨料拋光輪在加工時磨損劇烈，耐用性和散熱性有所欠缺。因此，在拋光輪上構建螺旋形微織構圖案，以壓力、轉速比、微織構紋理的曲率和條... （共6頁）