計量型微米級X射線坐標測量機空間分辨力標準器的研制

摘要： 針對現(xiàn)有計量型X射線坐標測量機空間分辨力標準器無法溯源的問題，研發(fā)了新型可溯源的空間分辨力標準器，并對其校準方法進行了探索研究。首先，基于線對卡法，利用光刻和電感耦合等離子體(ICP)刻蝕工藝研制了可定期溯源柵格標準器。然后，通過掃描電子顯微鏡實現(xiàn)了標準器的量值溯源，得到標準器的柵格周期為4～40μm,結(jié)果的均勻性可達0.1%,滿足目前計量型X射線坐標測量機空間分辨率溯源需求。... （共7頁）