基于反射式空間光調(diào)制器的非球面面形干涉檢測(cè)方法設(shè)計(jì)

摘要： 目前光學(xué)系統(tǒng)中非球面數(shù)量多，針對(duì)各個(gè)非球面單獨(dú)做補(bǔ)償器檢測(cè)面形加工成本高、通用性不好、加工難度大，為解決對(duì)多個(gè)參數(shù)不同的非球面需要不同的補(bǔ)償器的問題，提出了一種基于空間光調(diào)制器(spatial light modulator, SLM)作為補(bǔ)償器的干涉面形檢測(cè)方法，該干涉檢測(cè)法采用反射式空間光調(diào)制器作為零位補(bǔ)償器，結(jié)合偏振分光鏡和波片建立檢測(cè)光路，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)非球面面形誤差的測(cè)量... （共7頁）