空氣氣氛熱處理對(duì)Pd膜氫滲透性能的影響
摘要: 為了研究空氣氣氛熱處理對(duì)Pd膜氫滲透性能的影響,采用化學(xué)鍍沉積Pd膜,并對(duì)在573 K空氣氣氛熱處理前后的Pd膜氫滲透性能進(jìn)行分析評(píng)價(jià)。用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)和氫滲透方法對(duì)Pd膜進(jìn)行了表征,結(jié)果表明:沉積態(tài)Pd膜結(jié)構(gòu)致密無缺陷,厚度為5μm左右,Pd膜在673、723、773 K的氫滲透率分別為3.62×10
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Pd膜 空氣氣氛熱處理 氫滲透
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