粗硅的氧化精煉

摘要： 冶金法精煉硅制多晶硅(6N),供太陽能電池使用,其成本可能較低而受到關注.冶金法中重要的一步是氧化法,它將粗硅中的雜質(zhì)氧化成化合物的自由能(△G)位低的全部或部分除去,如Al、Ca、Ti、B、C等.氧化精煉硅用的方法有爐中吹煉、等離子吹煉;吹的氣體有氬氣、氮氣、氧氣、空氣、H2O、CO2和氫氣等.本文將研究工作和工廠實踐集中歸納,力圖明晰氧化法精煉硅的規(guī)律,以利于進一步深入研究和生產(chǎn)實踐. （共9頁）