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 我們已經(jīng)詳細地討論了區(qū)熔再結晶ZMR工藝中溫度梯度、生長形貌和缺陷密度之間的關系。根據(jù)這些討論,結晶面溫度梯度的精確控制對生長高質(zhì)量ZMR薄膜非常重要。雖然不容易直接測量溫度梯度的數(shù)值,但是利用熔化Si的反射率變化 (共 1239 字) [閱讀本文] >>
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 我們已經(jīng)詳細地討論了區(qū)熔再結晶ZMR工藝中溫度梯度、生長形貌和缺陷密度之間的關系。根據(jù)這些討論,結晶面溫度梯度的精確控制對生長高質(zhì)量ZMR薄膜非常重要。雖然不容易直接測量溫度梯度的數(shù)值,但是利用熔化Si的反射率變化 (共 1239 字) [閱讀本文] >>